この装置は、半導体製造装置部品の石英ガラスベルジャーを洗浄する装置です。現在、エッチング加工技術はIC、LSIへとデバイスの高度化をもたらしており、その製造技術に必要不可欠な部品が石英ガラスベルジャーです。この装置は、石英ガラ スベルジャーを自動で洗浄、搬送することが可能です。
   弊社ではお客様の使用サイズに合う石英ガラスベルジャー等のほか、耐薬品性の必要とされる特殊な用途、仕様で扱う装置を特注で設計・製作致します。