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本装置是一种清洗半导体制造设备零件石英玻璃钟形罩的设备。现在蚀刻加工技术经历了IC、LSI的发展阶段,使设备达到高端化,其制造技术所必不可少的零件就是石英玻璃钟形罩。本装置可以对石英玻璃钟形罩进行自动清洗及传送。 |
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地址:京都府久世郡久御山町田井向野27-1 电话:(0774)41-3131 传真:(0774)41-7716 邮箱: kimura@kimura-giken.com 网址: www.kimura-giken.com |
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